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成都自动门:离子镀原理
作者:成都熙南一卡通    发布于:2014-06-26 10:11:59    文字:【】【】【

离子镀的工作原理,真空室要通过真空系统抽到10——4pa以下压强后,通过充气系统向真空室通入氩气,使真空室内的压强达到10——1——1pa。这时在基片(被镀不锈钢板)相对蒸发源加上负高压,在基片与蒸发源间由于气体在压下的放电便形成等离子区。因为带有负高压的基片被等离子体包围,不断受到正离子的轰击,这样就会清楚基片表面上的气体和污物,起到清洁基片的作用。与此同时膜材(镀氮化钛时为金属钛)蒸汽离子由于受到等离子体中正离子和电子的碰撞,其中一部分被电离成正离子,正离子在负高压电场作用下被吸附到基片上成膜。此时基片为阴极,蒸发源为阳极、两极间要加几千伏的直流电压。在膜材原子沉积的同时,还有正离子(气体或膜材)对基片的溅射作用,所以只有沉积作用大于溅射剥离作用时才能产生薄膜。钛金板镀膜除惰性气体外,还要充人氮气作为反应气体。

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