离子镀膜机有多种类型，现主要介绍直流二极型离子镀膜机。

由真空室（也称钟罩）和底座构成镀膜机的主体。真空系统用于真空室的抽真空，保证真空室在要求的压强下。基本架是用于安装基片（被镀的不锈钢板或其他被镀件），基本架可在真空室上方或下方，为保证镀膜均匀，基片架带动基片旋转。由于离子镀有很好的绕射性能，大型基片可以不动。基片带有负偏压，由于电压较高，基片与基片架及真空室的电绝缘是很重要的问题。蒸发源（阳极）和电控系统也是镀膜机重要部件。充气系统和水冷却系统安装在底架下方。因为基片在镀膜过程中温度较高，真空室的不锈钢壁板往往制成带冷却水套的夹层。充气系统用于充入真空室惰性气体和反应气体。